Закономерности формирования электрофизических свойств толстых пленок на основе тугоплавких боридов и оксидов и разработка с их использованием новых материалов для микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (01.04.07) / АН УССР, Ин-т проблем материаловедения им. И. Н. Францевича
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рудь, Б. М. |
| Опубликовано: | Киев , 1990 |
| Физические характеристики: |
36 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29727440000 | ||
| 005 | 20070608172427.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070608d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Закономерности формирования электрофизических свойств толстых пленок на основе тугоплавких боридов и оксидов и разработка с их использованием новых материалов для микроэлектроники $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук $e (01.04.07) $f АН УССР, Ин-т проблем материаловедения им. И. Н. Францевича |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 36 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 31-36 (57 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Рудь $b Б. М. $g Борис Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070608 $g psbo |