Исследование процесса неизотермической диффузии примесей в кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рудаков, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1982 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29695130000 | ||
| 005 | 20070608164729.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070608d1982 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование процесса неизотермической диффузии примесей в кремнии $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.10) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1982 |
| 215 | # | # | $a 21 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 20-21 (8 назв.). Для служеб. пользования |
| 675 | # | # | $a 621.382:548.526 |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Рудаков $b В. И. $g Валерий Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070608 $g psbo |