Окисление, растворение полупроводников: Сравнительный кинетический анализ

Сохранено в:
Шифр документа: М171343,
Вид документа: Книги
Автор: Репинский, С. М.
Издание: Препринт
Опубликовано: Новосибирск , 1981
Физические характеристики: 7 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr29383490000
005 20210430105534.0
010 # # $d Б. ц. 
021 # # $a RU  $b [81-85567] 
100 # # $a 20070606d1981 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Окисление, растворение полупроводников  $e Сравнительный кинетический анализ 
205 # # $a Препринт 
210 # # $a Новосибирск  $d 1981 
215 # # $a 7 с. 
300 # # $a В надзаг.: АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. Новосиб. гос. ун-т им. Лен. комсомола. Библиогр.: с. 6-7 (15 назв.) 
345 # # $9 200 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
675 # # $a 537.311.322:541.183 
700 # 1 $a Репинский  $b С. М.  $g Сергей Маркович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070606  $g psbo