Исследование и разработка автоматической системы управления процессом диффузии в технологии производства полупроводниковых приборов: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.13.01) / Каунас. политехн. ин-т им. А. Снечкуса
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Райла, С. П. |
| Опубликовано: | Каунас , 1974 |
| Физические характеристики: |
23 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||