Исследование и разработка автоматической системы управления процессом диффузии в технологии производства полупроводниковых приборов: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.13.01) / Каунас. политехн. ин-т им. А. Снечкуса
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Райла, С. П. |
| Опубликовано: | Каунас , 1974 |
| Физические характеристики: |
23 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29195170000 | ||
| 005 | 20070604161751.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070604d1974 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a LT |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка автоматической системы управления процессом диффузии в технологии производства полупроводниковых приборов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (05.13.01) $f Каунас. политехн. ин-т им. А. Снечкуса |
| 210 | # | # | $a Каунас $d 1974 |
| 215 | # | # | $a 23 с. $c черт. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 22-23 (8 назв.). Для служебного пользования |
| 686 | # | # | $a 05.13.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Райла $b С. П. $g Саулюс-Повилас, Повило |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070604 $g psbo |