Оборудование для производства интегральных схем

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ97671,
Вид документа: Книги
Автор: Пэмплин, Б.
Опубликовано: М. : ЦНИИ техн.-экон. исследований и науч. информации , 1967
Физические характеристики: 44 с. : рис.
Язык: Русский
Серия: Переводы иностр. литературы. Серия "Технология организация производства" Перевод № 29/ЭТ-1730
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr29097840000
005 20070530154244.0
100 # # $a 20070530d1967 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Оборудование для производства интегральных схем 
210 # # $a М.  $c ЦНИИ техн.-экон. исследований и науч. информации  $d 1967 
215 # # $a 44 с.  $c рис. 
225 2 # $a Переводы иностр. литературы. Серия "Технология организация производства"  $f М-во электронной пром-сти СССР  $v Перевод № 29/ЭТ-1730 
300 # # $a На обл. авт. не указан 
675 # # $a 621.382.8 
700 # 1 $a Пэмплин  $b Б. 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070530  $g psbo