Численное моделирование некоторых технологических процессов в микроэлектронике: (05.13.16): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / МГУ им. М. В. Ломоносова, Фак. вычисл. математики и кибернетики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пулатов, С. И. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
12 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29010290000 | ||
| 005 | 20070530130753.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [90-23479а] |
| 100 | # | # | $a 20070530d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Численное моделирование некоторых технологических процессов в микроэлектронике $e (05.13.16) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f МГУ им. М. В. Ломоносова, Фак. вычисл. математики и кибернетики |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 12 с. |
| 686 | # | # | $a 05.13.16 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Пулатов $b С. И. $g Сухбатулла Исматуллаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070530 $g psbo |