Управление технологическими процессами производства микроэлектронных приборов

Сохранено в:
Шифр документа: 50993, 30997,
Вид документа: Книги
Автор: Пузырев, В. А.
Опубликовано: М. : Радио и связь , 1984
Физические характеристики: 160 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Б-ка технолога радиоэлектрон. аппаратуры
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr29005630000
005 20150105102315.0
010 # # $d 55 к. 
021 # # $a RU  $b [84-88875] 
100 # # $a 20070530d1984 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Управление технологическими процессами производства микроэлектронных приборов 
210 # # $a М.  $c Радио и связь  $d 1984 
215 # # $a 160 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 2 # $a Б-ка технолога радиоэлектрон. аппаратуры 
300 # # $a На обл. загл. сер.: Б-ка технолога РЭА. Библиогр.: с. 157-159 (68 назв.) 
345 # # $9 6500 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Автоматизация 
610 0 # $a Автоматизированные системы управления технологическими процессами - Проектирование - Автоматизация 
675 # # $a 621.382.049.77.002:658.012.011.56.001.63 
700 # 1 $a Пузырев  $b В. А.  $g Владимир Андреевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070530  $g psbo