Исследование и разработка методов оптимизации и управления технологическим процессом производства МОП-интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Прищепа, Н. М. |
Опубликовано: | Киев , 1979 |
Физические характеристики: |
23 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr28886800000 | ||
005 | 20070529191319.0 | ||
100 | # | # | $a 20070529d1979 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a UA |
200 | 1 | # | $a Исследование и разработка методов оптимизации и управления технологическим процессом производства МОП-интегральных микросхем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.18) |
210 | # | # | $a Киев $d 1979 |
215 | # | # | $a 23 с. |
300 | # | # | $a В надзаг.: Киев. политехн. ин-т им. 50-летия Великой Окт. соц. революции. Библиогр.: с. 21-23 (12 назв.). Для служеб. пользования |
686 | # | # | $a 05.12.18 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Прищепа $b Н. М. $g Николай Михайлович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070529 $g psbo |