Термоциклирование в процессе водородного восстановления поликристаллического кремния из его хлоридов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.16.03) / Краснояр. ин-т цвет. металлов им. М. И. Калинина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попова, О. Н. |
| Опубликовано: | Красноярск , 1986 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||