Термоциклирование в процессе водородного восстановления поликристаллического кремния из его хлоридов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.16.03) / Краснояр. ин-т цвет. металлов им. М. И. Калинина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попова, О. Н. |
| Опубликовано: | Красноярск , 1986 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28727980000 | ||
| 005 | 20070529161445.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070529d1986 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Термоциклирование в процессе водородного восстановления поликристаллического кремния из его хлоридов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.16.03) $f Краснояр. ин-т цвет. металлов им. М. И. Калинина |
| 210 | # | # | $a Красноярск $d 1986 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-20 (8 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.16.03 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Попова $b О. Н. $g Ольга Николаевна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070529 $g psbo |