Разработка и исследование процесса импульсного отжига некогерентным излучением полупроводниковых слоев структур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.10) / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попов, В. В. |
| Опубликовано: | Л. , 1987 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28680120000 | ||
| 005 | 20070529182406.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070529d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование процесса импульсного отжига некогерентным излучением полупроводниковых слоев структур $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (01.04.10) $f Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 16 (9 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Попов $b В. В. $g Владимир Валерьевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070529 $g psbo |