Технология обработки поверхностей в микроэлектронике

Сохранено в:
Шифр документа: 373092, 357891,
Вид документа: Книги
Автор: Полтавцев, Ю. Г.
Опубликовано: Киев : Тэхника , 1990
Физические характеристики: 205, [1] с. : граф. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr28554740000
005 20200403125830.0
010 # # $a 5-335-00572-6  $d 70 к. 
021 # # $a RU  $b [90-22845] 
100 # # $a 20070529d1990 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UA 
200 1 # $a Технология обработки поверхностей в микроэлектронике 
210 # # $a Киев  $c Тэхника  $d 1990 
215 # # $a 205, [1] с.  $c граф.  $d 20 см 
300 # # $a Библиогр.: с. 197-204 (127 назв.) 
345 # # $9 4000 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные - Детали - Обработка поверхности 
675 # # $a 621.382.049.77.002 
700 # 1 $a Полтавцев  $b Ю. Г.  $g Юрий Гаврилович 
701 # 1 $a Князев  $b А. С.  $g Александр Сергеевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070529  $g psbo