|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr28554740000 |
| 005 |
20200403125830.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-335-00572-6
$d 70 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-22845]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070529d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология обработки поверхностей в микроэлектронике
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$c Тэхника
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 205, [1] с.
$c граф.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 197-204 (127 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 4000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Детали - Обработка поверхности
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Полтавцев
$b Ю. Г.
$g Юрий Гаврилович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Князев
$b А. С.
$g Александр Сергеевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070529
$g psbo
|
