Физические проблемы катодного распыления: Обзор
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Плешивцев, Н. В. |
| Опубликовано: | М. : ИАЭ , 1979 |
| Физические характеристики: |
87 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28362540000 | ||
| 005 | 20070525143739.0 | ||
| 010 | # | # | $d 50 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [79-86779] |
| 100 | # | # | $a 20070525d1979 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Физические проблемы катодного распыления $e Обзор |
| 210 | # | # | $a М. $c ИАЭ $d 1979 |
| 215 | # | # | $a 87 с. $c ил. $d 20 см |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Ин-т атом. энергии им. И. В. Курчатова. Библиогр.: с. 80-85 (86 назв.) |
| 345 | # | # | $9 300 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Катодное распыление - Обзоры литературы информационные |
| 675 | # | # | $a 537.533(048.8) |
| 700 | # | 1 | $a Плешивцев $b Н. В. $g Николай Васильевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070525 $g psbo |