Катодное распыление

Сохранено в:
Шифр документа: АН587505, АУ337409,
Вид документа: Книги
Автор: Плешивцев, Н. В.
Опубликовано: М. : Атомиздат , 1968
Физические характеристики: 343 с. с илл.; 8 л. илл. ; 22 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr28362520000
005 20170517122701.0
010 # # $b В пер.  $d 1 р. 73 к. 
021 # # $a RU  $b [68-72805] 
100 # # $a 20070525d1968 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Катодное распыление 
210 # # $a М.  $c Атомиздат  $d 1968 
215 # # $a 343 с. с илл.; 8 л. илл.  $d 22 см 
300 # # $a Библиогр.: с. 297-334. Предм. указатель: с. 335-339 
345 # # $9 4000 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6492365  $a КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
675 # # $a **9.23+537.525+539.18+621.039.85 
700 # 1 $a Плешивцев  $b Н. В.  $g Николай Васильевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070525  $g psbo