|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr28159310000 |
| 005 |
20190424151057.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 32 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-73780]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070525d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Теоретические основы химических процессов в микроэлектронике
$e [Учеб. пособие]
$f Моск. ин-т электрон. техники
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 107 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 105 (12 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Физико-химические основы
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:541.1(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Петрова
$b В. З.
$g Валентина Захаровна
|
| 701 |
# |
1 |
$a Ханова
$b Н. А.
$g Нина Александровна
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070525
$g psbo
|
