Диагностика структурного совершенства кремния в технологии производства интегральных схем методом наведенного в растровом электронном микроскопе: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Каунас. политехн. ин-т им. А. Снечкуса
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Петров, А. В. |
| Опубликовано: | Каунас , 1988 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28117800000 | ||
| 005 | 20070522161540.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070522d1988 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a LT |
| 200 | 1 | # | $a Диагностика структурного совершенства кремния в технологии производства интегральных схем методом наведенного в растровом электронном микроскопе $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.06) $f Каунас. политехн. ин-т им. А. Снечкуса |
| 210 | # | # | $a Каунас $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 18 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 17-18 (10 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Петров $b А. В. $g Анатолий Викторович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070522 $g psbo |