Теоретическое исследование кинетики роста и легирования автоэпитаксиальных слоев кремния из атомных пучков в вакууме: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Перов, А. С. |
| Опубликовано: | Горький , 1983 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28053700000 | ||
| 005 | 20070522154147.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070522d1983 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Теоретическое исследование кинетики роста и легирования автоэпитаксиальных слоев кремния из атомных пучков в вакууме $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.10) |
| 210 | # | # | $a Горький $d 1983 |
| 215 | # | # | $a 21 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. Библиогр.: с. 20-21 (10 назв.). Для служеб. пользования |
| 675 | # | # | $a 537.311.33:548.32 |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Перов $b А. С. $g Александр Сергеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070522 $g psbo |