|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27934240000 |
| 005 |
20110309110933.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070522d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка низкотемпературных, не вносящих радиационные дефекты, процессов осаждения диэлектрических слоев в реакторе с групповой обработкой пластин
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e (05.27.06)
$f Моск. ин-т электрон. техники
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 20-21 (15 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Патюков
$b С. И.
$g Сергей Иванович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070522
$g psbo
|
