Физические основы технологии микроэлектронной аппаратуры: Конспект лекций / [Н. Е. Скляров, В. В. Соловьев, Ю. А. Тимофеев, В. С. Пархоменко

Сохранено в:
Шифр документа: МД115840,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Пенза : ППИ , 1980
Физические характеристики: 68 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr27867030000
005 20071221124630.0
010 # # $d 15 к. 
021 # # $a RU  $b [80-52734] 
100 # # $a 20071221d1980 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Физические основы технологии микроэлектронной аппаратуры  $e Конспект лекций  $f [Н. Е. Скляров, В. В. Соловьев, Ю. А. Тимофеев, В. С. Пархоменко  $g Под ред. К. А. Сапожкова] 
210 # # $a Пенза  $c ППИ  $d 1980 
215 # # $a 68 с.  $c ил.  $d 20 см 
300 # # $a Авт. указаны на обороте тит. л. В надзаг.: Пенз. политехн. ин-т 
345 # # $9 500 экз. 
610 0 # $a Квантовая механика 
610 0 # $a Статистическая физика 
675 # # $a 530.145.6+531.19](075.8) 
701 # 1 $a Скляров  $b Н. Е.  $g Николай Егорович 
702 # 1 $a Сапожков  $b К. А.  $g Константин Андреевич  $4 340 
711 0 2 $a Пензенский политехнический ин-т 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071221  $g psbo