Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике: Сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. , 1981 |
| Физические характеристики: |
151 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr27866960000 | ||
| 005 | 20071221124630.0 | ||
| 010 | # | # | $d 45 к. |
| 100 | # | # | $a 20071221d1981 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике $e Сб. науч. тр. $f Моск. ин-т электрон. техники |
| 210 | # | # | $a М. $d 1981 |
| 215 | # | # | $a 151 с. |
| 345 | # | # | $9 300 экз. |
| 675 | # | # | $a 536.7+621.315.592 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071221 $g psbo |