Физические основы микроэлектроники: Сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники

Сохранено в:
Шифр документа: 161410, 164635,
Вид документа: Книги
Опубликовано: М. : МИЭТ , 1986
Физические характеристики: 159 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr27866430000
005 20170518141102.0
010 # # $d 68 к. 
021 # # $a RU  $b [87-9978] 
100 # # $a 20071221d1986 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Физические основы микроэлектроники  $e Сб. науч. тр.  $f Моск. ин-т электрон. техники  $g [Редкол.: Т. Д. Шермергор (науч. ред.) и др.] 
210 # # $a М.  $c МИЭТ  $d 1986 
215 # # $a 159 с.  $c ил.  $d 20 см 
300 # # $a Библиогр. в конце ст. 
345 # # $9 300 экз. 
610 0 # $a Микроэлектроника - Сборники 
675 # # $a 621.382.049.77(082) 
702 # 1 $a Шермергор  $b Т. Д.  $g Тимофей Дмитриевич  $4 340 
711 0 2 $a Московский ин-т электронной техники 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071221  $g psbo