Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов: Лаб. практикум. Для студентов спец. 0643, 0629, 0604 / Моск. ин-т стали и сплавов. Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов

Сохранено в:
Шифр документа: М186553,
Вид документа: Книги
Издание: Переизд.
Опубликовано: М. , 1981
Физические характеристики: 160 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr27842260000
005 20071221113521.0
010 # # $d 28 к. 
021 # # $a RU  $b [82-24235] 
100 # # $a 20071221d1981 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов  $e Лаб. практикум. Для студентов спец. 0643, 0629, 0604  $f Моск. ин-т стали и сплавов. Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов  $g [Сост. Карпухин В. В. и др.]. Под ред. В. В. Карпухина 
205 # # $a Переизд. 
210 # # $a М.  $d 1981 
215 # # $a 160 с. 
345 # # $9 400 экз. 
610 0 # $a Полупроводники - Физико-химические св. 
675 # # $a 621.315.592.002(076.5) 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071221  $g psbo