Физико-химические основы надежности микроэлектронных структур: Межвуз. сб. науч. тр. / Воронеж. политехн. ин-т

Сохранено в:
Шифр документа: 166154К,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Воронеж : ВПИ , 1987
Физические характеристики: 91 с. : ил. ; 27 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr27841610000
005 20150128132133.0
010 # # $d 70 к. 
021 # # $a RU  $b [87-55224] 
100 # # $a 20071221d1987 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Физико-химические основы надежности микроэлектронных структур  $e Межвуз. сб. науч. тр.  $f Воронеж. политехн. ин-т  $g [Редкол.: С. И. Рембеза (науч. ред.) и др.] 
210 # # $a Воронеж  $c ВПИ  $d 1987 
215 # # $a 91 с.  $c ил.  $d 27 см 
300 # # $a Библиогр. в конце ст. 
345 # # $9 200 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные твердотельные - Надежность - Физико-химические основы - Сборники 
675 # # $a 621.315.592.019.3+621.382.049.77.012.3:541.1(082) 
702 # 1 $a Рембеза  $b С. И.  $g Станислав Иванович  $4 340 
711 0 2 $a Воронежский политехнический ин-т 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071221  $g psbo