Физико-технологические основы микроэлектроники: Сб. науч. тр. / Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни

Сохранено в:
Шифр документа: 133043,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Ташкент : ТашПИ , 1985
Физические характеристики: 96 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr27838950000
005 20170213102125.0
010 # # $d 60 к. 
021 # # $a RU  $b [85-97264] 
100 # # $a 20071221d1985 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UZ 
200 1 # $a Физико-технологические основы микроэлектроники  $e Сб. науч. тр.  $f Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни  $g [Редкол.: Р. С. Касымова (отв. ред.) и др.] 
210 # # $a Ташкент  $c ТашПИ  $d 1985 
215 # # $a 96 с.  $c ил.  $d 20 см 
300 # # $a Библиогр. в конце ст. 
345 # # $9 500 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Сборники 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные - Физика - Сборники 
675 # # $a 621.382.049.77.002 
702 # 1 $a Касымова  $b Р. С.  $4 340 
711 0 2 $a Ташкентский политехнический ин-т им. Абу Райхана Беруни 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071221  $g psbo