|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27782920000 |
| 005 |
20191205101916.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 20 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-37902]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071221d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Учебное пособие по курсу «Радиоматериалы и технологические основы микроэлектроники»
$e Новые методы в технологии микроэлектроники
$f П. А. Арсеньев, Е. К. Копылова, В. А. Сурогина, Д. С. Холодный
$g Моск. энерг. ин-т
$g Ред. В. А. Филиков
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МЭИ
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 107, [2] с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Загл. обл.: Новые методы в технологии микроэлектроники
|
| 345 |
# |
# |
$9 500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронная аппаратура - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002(075.8)
|
| 701 |
# |
1 |
$a Арсеньев
$b П. А.
$g Павел Александрович
|
| 702 |
# |
1 |
$a Филиков
$b В. А.
$g Виталий Андреевич
$4 340
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071221
$g psbo
|
