Топографические съемки реальных кремниевых структур в пучке СИ ВЭПП-4 / А. А. Васенков, Г. Н. Кулипанов, Ю. М. Дитвинов и др.

Сохранено в:
Шифр документа: 174069,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Новосибирск , 1986
Физические характеристики: 11 с. : рис.
Язык: Русский
Серия: Препр. 86-120
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr27487010000
005 20140214130003.4
010 # # $d Беспл. 
021 # # $a RU  $b [86-88275] 
100 # # $a 20071220d1986 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Топографические съемки реальных кремниевых структур в пучке СИ ВЭПП-4  $f А. А. Васенков, Г. Н. Кулипанов, Ю. М. Дитвинов и др. 
210 # # $a Новосибирск  $d 1986 
215 # # $a 11 с.  $c рис. 
225 2 # $a Препр.  $f Ин-т ядер. физики СО АН СССР  $v 86-120 
345 # # $9 290 экз. 
610 0 # $a Кремний 
675 # # $a 539.216.2:621.384 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071220  $g psbo