|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27388340000 |
| 005 |
20071221130542.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 35 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [77-21651]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071221d1976 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология размерной обработки полупроводниковых материалов
$e Учеб. пособие
$f А. Н. Комов, А. И. Колпаков, Б. Д. Рафаевич, Л. Л. Дорофеев
$g Куйбышев. гос. ун-т
|
| 210 |
# |
# |
$a Куйбышев
$c Куйбышев. ун-т
$d 1976
|
| 215 |
# |
# |
$a 83 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 81-82
|
| 345 |
# |
# |
$9 1000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Обработка
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592.002(075.8)
|
| 701 |
# |
1 |
$a Комов
$b А. Н.
$g Александр Николаевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071221
$g psbo
|
