|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27385030000 |
| 005 |
20101229094355.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 10 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [84-22041]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071221d1983 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология производства интегральных микросхем
$e Лекции
$f [Смирнов О. Л., Андреева А. Н., Илларионов О. И., Ястребов А. П.]
$g Под ред. В. А. Лопухина
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 57 с.
$c черт.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Ленингр. ин-т авиац. приборостроения
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 55—56 (19 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 150 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071221
$g psbo
|
