
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : [Учеб. пособие для ПТУ : В 10 кн.]. Кн. 6 : Нанесение пленок в вакууме / [В. Е. Минайчев]
Saved in:
Format: | |
---|---|
Published: | 1989 |
Physical Description: |
109, [1] с. : ил.
|
Language: | Russian |
Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|