|
|
|
|
|
00000cam2a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27382720002 |
| 005 |
20201214104121.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-06-000308-6
$d 15 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [89-80714]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071221d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 200 |
1 |
# |
$a Нанесение пленок в вакууме
$f [В. Е. Минайчев]
|
| 210 |
# |
# |
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 109, [1] с.
$c ил.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 108 (6 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 30000 экз.
|
| 461 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-rr27382720000
$1 2001
$v Кн. 6
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство - Учебники и пособия
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронная аппаратура - Производство - Учебники и пособия
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые пленки - Получение - Применение вакуума (кн. 6)
|
| 675 |
# |
# |
$a [621.382.002+621.382.002:621.793.14](075.32)
|
| 686 |
# |
# |
$a 32.852-06я723+32.844.1-06я723
$2 rubbk
|
| 701 |
# |
1 |
$a Минайчев
$b В. Е.
$g Виктор Егорович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071221
$g psbo
|
