Технологические аспекты жидкофазной эпитаксии полупроводников: Аналит. обзор / В. А. Морозов, А. Г. Новиков, С. С. Плетенец, А. Л. Шимкевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
60 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
ЦНИИ информ. и техн.-экон. исслед. по атом. науке и технике
ФЭИ-0241 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||