Технологические аспекты жидкофазной эпитаксии полупроводников: Аналит. обзор / В. А. Морозов, А. Г. Новиков, С. С. Плетенец, А. Л. Шимкевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
60 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
ЦНИИ информ. и техн.-экон. исслед. по атом. науке и технике
ФЭИ-0241 |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr27344420000 | ||
| 005 | 20191004143530.0 | ||
| 010 | # | # | $d 50 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [91-7252] |
| 100 | # | # | $a 20071220d1990 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Технологические аспекты жидкофазной эпитаксии полупроводников $e Аналит. обзор $f В. А. Морозов, А. Г. Новиков, С. С. Плетенец, А. Л. Шимкевич |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 60 с. $c ил. |
| 225 | 2 | # | $a ЦНИИ информ. и техн.-экон. исслед. по атом. науке и технике $v ФЭИ-0241 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 54-60 (96 назв.) |
| 345 | # | # | $9 90 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Полупроводниковые пленки - Эпитаксия |
| 675 | # | # | $a 621.315.592-416.002 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071220 $g psbo |