Теория и практика физико-химических процессов в микроэлектронике: Сб. науч. тр. / Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола

Сохранено в:
Шифр документа: 156828,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Воронеж : Изд-во Воронеж. ун-та , 1986
Физические характеристики: 180 с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr27241110000
005 20170404102212.0
010 # # $d 1 р. 50 к. 
021 # # $a RU  $b [86-97395] 
100 # # $a 20071220d1986 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Теория и практика физико-химических процессов в микроэлектронике  $e Сб. науч. тр.  $f Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола  $g [Редкол.: Я. А. Угай (отв. ред.) и др.] 
210 # # $a Воронеж  $c Изд-во Воронеж. ун-та  $d 1986 
215 # # $a 180 с.  $c ил.  $d 22 см 
300 # # $a Библиогр. в конце ст. 
345 # # $9 400 экз. 
610 0 # $a Полупроводники - Физико-химические исследования - Сборники 
675 # # $a 621.315.592.002:541.1(082) 
702 # 1 $a Угай  $b Я. А.  $g Яков Александрович  $4 340 
711 0 2 $a Воронежский гос. ун-т им. Ленинского комсомола 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071220  $g psbo