|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
001 |
BY-NLB-rr27241110000 |
005 |
20170404102212.0 |
010 |
# |
# |
$d 1 р. 50 к.
|
021 |
# |
# |
$a RU
$b [86-97395]
|
100 |
# |
# |
$a 20071220d1986 y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
200 |
1 |
# |
$a Теория и практика физико-химических процессов в микроэлектронике
$e Сб. науч. тр.
$f Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола
$g [Редкол.: Я. А. Угай (отв. ред.) и др.]
|
210 |
# |
# |
$a Воронеж
$c Изд-во Воронеж. ун-та
$d 1986
|
215 |
# |
# |
$a 180 с.
$c ил.
$d 22 см
|
300 |
# |
# |
$a Библиогр. в конце ст.
|
345 |
# |
# |
$9 400 экз.
|
610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Физико-химические исследования - Сборники
|
675 |
# |
# |
$a 621.315.592.002:541.1(082)
|
702 |
# |
1 |
$a Угай
$b Я. А.
$g Яков Александрович
$4 340
|
711 |
0 |
2 |
$a Воронежский гос. ун-т им. Ленинского комсомола
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071220
$g psbo
|