Специальное технологическое оборудование микроэлектроники: материалы Межвузовской научно-методической конференции по проблемам микроэлектроники (27 января ― 2 февраля 1970 г.)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника" , 1971 |
| Физические характеристики: |
159 с., [1] л. табл. : ил. ; 26 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды конференций по электронной технике
вып. 3 (29) |
| Предмет: |
1971, Вып.3: Специальное технологическое оборудование микроэлектроники
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||