|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr26822820000 |
| 005 |
20201124135658.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 1 р. 65 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [71-59789ж]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071220d1971 |||y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a|||||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Специальное технологическое оборудование микроэлектроники
$e материалы Межвузовской научно-методической конференции по проблемам микроэлектроники (27 января ― 2 февраля 1970 г.)
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Институт "Электроника"
$d 1971
|
| 215 |
# |
# |
$a 159 с., [1] л. табл.
$c ил.
$d 26 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Труды конференций по электронной технике
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v вып. 3 (29)
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце докладов
|
| 345 |
# |
# |
$9 500 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br0000625162
$1 2001
$v 1971, вып. 3 (29)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы - Производство - Оборудование - Сборники
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382-181.48.002.5(063)
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Межвузовская научно-методическая конференция по проблемам микроэлектроники
$f 1970
$e Москва
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071220
$g psbo
|
