Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники: материалы конференции "Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники (23―25 ноября 1971 г.): [сборник статей / ответственный редактор И. Г. Блинов]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника , 1972 |
| Физические характеристики: |
59 с., [1] л. схема : табл. ; 26 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов и рекомендации конференций, совещаний и семинаров
вып. 1 (9) |
Загрузка