|
|
|
|
|
00000cam2a22000001is4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr26822780000 |
| 005 |
20171124135401.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20071220d1972 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a SU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники
$e материалы конференции "Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники (23―25 ноября 1971 г.)
$e [сборник статей
$f ответственный редактор И. Г. Блинов]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Электроника
$d 1972
|
| 215 |
# |
# |
$a 59 с., [1] л. схема
$c табл.
$d 26 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Тезисы докладов и рекомендации конференций, совещаний и семинаров
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v вып. 1 (9)
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br77953
$1 2001
$v Вып. 1
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77(063)
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-CNB-a323329
$a Блинов
$b И. Г.
$g Иван Григорьевич
$4 340
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071220
$g psbo
|
