|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr26822770000 |
| 005 |
20071220132013.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 2 р. 10 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [69-46134]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071220d1968 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Специальное технологическое оборудование для микроэлектроники
$f Под ред. канд. техн. наук Блинова И. Г., канд. техн. наук Иванова В. И.
|
| 210 |
# |
# |
$a [М.]
$c МИЭТ
$d 1968
|
| 215 |
# |
# |
$a 269 с.
$c илл.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр. в конце глав. Перед загл. авт.: И. Г. Блинов, В. И. Иванов, Ю. Я. Мелехин, В. Л. Сандеров
|
| 345 |
# |
# |
$9 500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы - Производство - Оборудование
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.8.0025+[016.3]
|
| 701 |
# |
1 |
$a Блинов
$b И. Г.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071220
$g psbo
|
