|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr26245190000 |
| 005 |
20071220112533.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 47 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [81-11699]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071220d1979 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Сборник научных трудов «Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике»
$f Моск. ин-т электрон. техники
$g [Науч. ред. Дубовой Н. Д.]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1979
|
| 215 |
# |
# |
$a 161 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Загл. обл.: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники «Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике». Библиогр. в конце работ
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы - Производство - Автоматизация - Сборники
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:65.011.56
|
| 702 |
# |
1 |
$a Дубовой
$b Н. Д.
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Московский ин-т электронной техники
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071220
$g psbo
|
