Расчет газодинамических процессов в проточных газоэпитаксиальных реакторах с использованием матричного модуля ЕС-1055М / И. Г. Всесветский, А. И. Жмакин, Л. А. Кадинский и др.

Сохранено в:
Шифр документа: 186975,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Л. , 1987
Физические характеристики: 25 с. : рис.
Язык: Русский
Серия: Препр. 1094
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr25738200000
005 20171205111219.0
010 # # $d Беспл. 
021 # # $a RU  $b [87-16204] 
100 # # $a 20071203d1987 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Расчет газодинамических процессов в проточных газоэпитаксиальных реакторах с использованием матричного модуля ЕС-1055М  $f И. Г. Всесветский, А. И. Жмакин, Л. А. Кадинский и др. 
210 # # $a Л.  $d 1987 
215 # # $a 25 с.  $c рис. 
225 2 # $a Препр.  $f АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе  $v 1094 
300 # # $a Библиогр.: с. 24-25 (20 назв.) 
345 # # $9 200 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659663  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
610 0 # $a Ядерные реакторы 
675 # # $a 621.315.592-416.002:537 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071203  $g psbo