Распыление твердых тел ионной бомбардировкой: Физ. распыление одноэлемент. твердых тел / [Р. Бериш, П. Зигмунд, М. Робинсон и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: АУ646933, М259974,
Вид документа: Книги
Опубликовано: М. : Мир , 1984
Физические характеристики: 336 с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Серия: Пробл. прикл. физики
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr25723220000
005 20071203153435.0
010 # # $b В пер.  $d 3 р. 70 к. 
021 # # $a RU  $b [83-95184] 
100 # # $a 20071203d1984 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Распыление твердых тел ионной бомбардировкой  $e Физ. распыление одноэлемент. твердых тел  $f [Р. Бериш, П. Зигмунд, М. Робинсон и др.]  $g Под ред. Р. Бериша; Пер. с англ. под ред. В. А. Молчанова 
210 # # $a М.  $c Мир  $d 1984 
215 # # $a 336 с.  $c ил.  $d 22 см 
225 2 # $a Пробл. прикл. физики 
300 # # $a Перевод изд.: Sputtering by particle bombardment. 1 / With contributions by H. H. Andersen, H. L. Bay, R. Behrisch et. al. (Berlin etc., 1981). Авт. указаны в огл. Библиогр. в конце глав. Предм. указ.: с. 332-335 
345 # # $9 2200 экз. 
610 0 # $a Ионы - Взаимодействие с поверхностью твердых тел 
610 0 # $a Твердые тела - Действие ионизирующих излучений 
675 # # $a 539.2:539.1.04 
701 # 1 $a Бериш  $b Р.  $g Райнер 
702 # 1 $a Молчанов  $b В. А.  $4 340 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071203  $g psbo