Процессы ионно-плазменной технологии в микроэлектронике / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Ленинград , 1989 |
| Физические характеристики: |
47 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr25514550000 | ||
| 005 | 20200422115311.0 | ||
| 010 | # | # | $d 10 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [90-22454] |
| 100 | # | # | $a 20071204d1989 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Процессы ионно-плазменной технологии в микроэлектронике $f Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина) $g Под ред. А. Б. Козырева; В. А. Вольпяс, Е. К. Гольман, А. Г. Зайцев |
| 210 | # | # | $a Ленинград $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 47 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 45-47 (35 назв.) |
| 345 | # | # | $9 200 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Микроэлектроника |
| 610 | 0 | # | $a Плазменная обработка |
| 610 | 0 | # | $a Ионы |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.77.002:621.793.182 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071204 $g psbo |