|
|
|
|
|
00000cam2a22000003ij4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr25240260000 |
| 005 |
20190220094100.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20071203d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Проблемы литографии в микроэлектронике
$e [сборник статей]
$f ответственный редактор Т. М. Махвиладзе
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Наука
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 149, [1] с.
$c ил.
$d 24 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Труды Института общей физики
$f Академия наук СССР
$v т. 8
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br133088
$1 2001
$v Т. 8
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Травление - Сборники
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002(082)
|
| 702 |
# |
1 |
$a Махвиладзе
$b Т. М.
$g Тариэль Михайлович
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$3 BY-SEK-ar7236186
$a Институт общей физики имени А. М. Прохорова
$c Москва
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20140507
$g RCR
|
