|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr24084070000 |
| 005 |
20071113151408.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 35 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [82-65526]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071113d1982 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Оптические методы контроля интегральных микросхем
$e Состояние и перспективы совершенствования
$f [Ю. С. Вартанян, Н. С. Розиньков, Л. Г. Дубицкий и др.]
$g Под ред. Л. Г. Дубицкого
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 134 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Массовая б-ка инженера «Электроника»
$v Вып. 32
|
| 300 |
# |
# |
$a Авт. указаны на обороте тит. л. Библиогр.: с. 126-133 (161 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 7000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Технический контроль - Оптические методы
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:658.562.6.012.7:535
|
| 701 |
# |
1 |
$a Вартанян
$b Ю. С.
$g Юрий Самсонович
|
| 702 |
# |
1 |
$a Дубицкий
$b Л. Г.
$g Лев Григорьевич
$4 340
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071113
$g psbo
|
