|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr23682670000 |
| 005 |
20140919132747.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 45 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [84-65427]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071112d1984 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Новые материалы для микроэлектроники
$e Сб. науч. тр.
$f АН УССР, Ин-т пробл. материаловедения
$g [Редкол.: Т. Я. Косолапова (отв. ред.) и др.]
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$c ИПМ
$d 1984
|
| 215 |
# |
# |
$a 117 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр. в конце ст.
|
| 345 |
# |
# |
$9 295 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Материалы - Сборники
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002.3
|
| 702 |
# |
1 |
$a Косолапова
$b Т. Я.
$g Татьяна Яковлевна
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Институт проблем материаловедения. Киев
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071112
$g psbo
|
