|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
001 |
BY-NLB-rr23581390000 |
005 |
20071112130445.0 |
010 |
# |
# |
$d Б. ц.
|
021 |
# |
# |
$a RU
$b [81-95801]
|
100 |
# |
# |
$a 20071112d1981 y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
200 |
1 |
# |
$a Некоторые особенности диффузии галлия при производстве кремниевых высоковольтных приборов
$f В. В. Старков, К. Л. Фесюк, Н. И. Балякин, Г. И. Коханчик
|
205 |
# |
# |
$a Препринт
|
210 |
# |
# |
$a Черноголовка
$d 1981
|
215 |
# |
# |
$a 18 с.
|
300 |
# |
# |
$a В надзаг.: АН СССР. Отд-ние ин-та хим. физики. Библиогр.: с. 18 (16 назв.)
|
345 |
# |
# |
$9 175 экз.
|
610 |
0 |
# |
$a Кремний
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.333.3+539.219.3
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071112
$g psbo
|