Некоторые особенности диффузии галлия при производстве кремниевых высоковольтных приборов / В. В. Старков, К. Л. Фесюк, Н. И. Балякин, Г. И. Коханчик

Сохранено в:
Шифр документа: М175678,
Вид документа: Книги
Издание: Препринт
Опубликовано: Черноголовка , 1981
Физические характеристики: 18 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr23581390000
005 20071112130445.0
010 # # $d Б. ц. 
021 # # $a RU  $b [81-95801] 
100 # # $a 20071112d1981 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Некоторые особенности диффузии галлия при производстве кремниевых высоковольтных приборов  $f В. В. Старков, К. Л. Фесюк, Н. И. Балякин, Г. И. Коханчик 
205 # # $a Препринт 
210 # # $a Черноголовка  $d 1981 
215 # # $a 18 с. 
300 # # $a В надзаг.: АН СССР. Отд-ние ин-та хим. физики. Библиогр.: с. 18 (16 назв.) 
345 # # $9 175 экз. 
610 0 # $a Кремний 
675 # # $a 621.382.333.3+539.219.3 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071112  $g psbo