|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr23322570000 |
| 005 |
20180115092814.0 |
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-31945]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071112d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Моделирование формирования изображения в процессе электронного экспонирования
$f А. А. Ремова, В. Р. Белослудов, В. С. Данилович, Т. Н. Мартынова
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 34 с.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препринт
$f Ин-т неорган. химии СО АН СССР
$v 87-2
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 29-32 (60 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Фотолитография
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.75
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071112
$g psbo
|
