Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло / Л. Н. Александров, Р. В. Бочкова. А. Н. Коган, Н. П. Тихонова

Сохранено в:
Шифр документа: 453086,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Новосибирск : Наука. Сиб. отд-ние , 1991
Физические характеристики: 167 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr23321140000
005 20161112151557.0
010 # # $d 2 р. 90 к. 
100 # # $a 20071112d1991 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло  $f Л. Н. Александров, Р. В. Бочкова. А. Н. Коган, Н. П. Тихонова  $g Отв. ред. С. И. Стенин  $g АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников 
210 # # $a Новосибирск  $c Наука. Сиб. отд-ние  $d 1991 
215 # # $a 167 с.  $c ил. 
300 # # $a Библиогр.: с. 150-162 (257 назв.). - Указ. предм., авт.: с. 163-166 
345 # # $9 890 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659663  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
610 0 # $a Монте - Карло метод 
675 # # $a 539.216.2:537.311.322:519.245 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071112  $g psbo