Математическое моделирование газодинамических процессов в проточных газоэпитаксиальных реакторах / А. И. Жмакин, И. П. Ипатов, Ю. Н. Макаров, А. А. Фурсенко

Сохранено в:
Шифр документа: 87288,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Л. , 1985
Физические характеристики: 30 с.
Язык: Русский
Серия: Препринт 970
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr22655610000
005 20160111102617.0
010 # # $d Беспл. 
021 # # $a RU  $b [85-83092] 
100 # # $a 20071112d1985 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Математическое моделирование газодинамических процессов в проточных газоэпитаксиальных реакторах  $f А. И. Жмакин, И. П. Ипатов, Ю. Н. Макаров, А. А. Фурсенко 
210 # # $a Л.  $d 1985 
215 # # $a 30 с. 
225 2 # $a Препринт  $f АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе  $v 970 
300 # # $a Библиогр.: с. 28-29 (40 назв.) 
345 # # $9 200 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659663  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
610 0 # $a Галлий, арсенид 
675 # # $a 621.315.592-416.002 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071112  $g psbo